项目名称：双束聚焦离子刻蚀系统采购项目
项目编号：ZJWSBJ-ZJU-2019043G
一、项目联系方式：
项目联系人：徐工
项目联系电话：0571-87805727
二、原公告名称及地址时间等：
首次公告日期：2019年12月05日
本次变更日期：2019年12月16日
原公告项目名称：浙江五石工程咨询有限公司关于浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）双束聚焦离子刻蚀系统采购项目的公开招标公告
原公告地址：http://ncpms.ccgp.gov.cn/GS6/BidInfo/preview2?bidId=2c8382a46e6c6da2016ede1ec1f43bbb
三、更正事项、内容：
序号 | 更正事项 | 更正前内容 | 更正后内容 |
1 | 第二章 采购需求-一、采购内容及要求-（三）具体技术要求-2、具体参数说明 | ▲5.1 样品室内部尺寸不小于330 mm (宽) × 330 mm (深) × 270 mm (高)； ▲5.2 六轴高精度超优中心全自动马达样品台或者五轴全压电陶瓷高精度马达台，如为五轴样品台，其XY方向重复精度（XY repeatability）不大于1微米； ▲5.4 具有样品预交换室，可放置样品最大尺寸不小于80mm；且配备交换腔导航相机 | ★5.1 样品室内部尺寸不小于330 mm (宽) × 330 mm (深) × 270 mm (高)； ★5.2 六轴高精度超优中心全自动马达样品台或者五轴全压电陶瓷高精度马达台，如为五轴样品台，其XY方向重复精度（XY repeatability）不大于1微米； ★5.4 具有样品预交换室，可放置样品最大尺寸不小于80mm；且配备交换腔导航相机 |
2 | 开标时间 | 2019-12-27 10:45:00（北京时间） | 2019-12-31 09:30:00（北京时间） |